渦輪分子泵的操作注意事項(xiàng)及應(yīng)用

　　渦輪分子泵是靠高速轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子運(yùn)動(dòng)從而獲得超高真空的一種機(jī)械式真空泵，是由動(dòng)葉輪與靜葉輪組合而成，比擴(kuò)散泵節(jié)能、無(wú)油蒸汽污染，同時(shí)具有分子流時(shí)抽速大、壓縮比高的特點(diǎn)，是目前國(guó)內(nèi)大抽速的分子泵，動(dòng)葉輪采用變截面加工，其強(qiáng)度增加重量減少，使分子泵性能更可靠、穩(wěn)定。

　　渦輪分子泵的操作注意事項(xiàng)

　　♦不能在前級(jí)泵工作時(shí)(前級(jí)管路接通)和真空室處于真空狀態(tài)時(shí)將渦輪分子泵停掉，否則將會(huì)使油蒸氣迅速?gòu)那凹?jí)管路返流到泵的清潔端。

　　♦分子泵系統(tǒng)在停機(jī)充干燥氣體前，一定要先將分子泵冷卻水關(guān)閉，且要從泵的高真空端充氣。決不能從泵的前級(jí)管路進(jìn)行充氣。

　　♦選擇系統(tǒng)前級(jí)泵的大小時(shí)，應(yīng)使渦輪分子泵的前級(jí)保持在分子流狀態(tài)下。

　　♦不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉(zhuǎn)速下運(yùn)行。

　　♦分子泵入口應(yīng)裝設(shè)防護(hù)網(wǎng)，以避免異物進(jìn)入泵內(nèi)損壞泵轉(zhuǎn)子和定子葉片。

　　渦輪分子泵的應(yīng)用領(lǐng)域，包括但不限于：

　　♦分析(質(zhì)譜分析儀，電子顯微鏡等)。

　　♦半導(dǎo)體工業(yè)(電子零部件，集成電路，太陽(yáng)能電池等)。

　　♦光學(xué)/玻璃工業(yè)(防熱，防反射，反射，光學(xué)過(guò)濾涂層等。

　　♦涂層技術(shù)(表面防護(hù),裝飾性涂層,顯示器,屏幕等)。

　　♦真空冶煉(真空焊,真空燒結(jié),真空合金,真空爐等)。