渦輪分子泵是利用高速旋轉的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產生定向流動而抽氣的真空泵。優(yōu)點是啟動快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無氣體存儲和解吸效應，無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控熱核反應裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。

　　此分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應，由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。其廣泛應用于電子、冶金、化工、科研及真空技術的各個領域。

　　是靠高速轉動的轉子攜帶氣體分子運動從而獲得超高真空的一種機械式真空泵，是由動葉輪與靜葉輪組合而成，比擴散泵節(jié)能、無油蒸汽污染，同時具有分子流時抽速大、壓縮比高的特點，是目前國內大抽速的分子泵，動葉輪采用變截面加工，其強度增加重量減少，使分子泵性能更可靠、穩(wěn)定。